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中商情报网讯:光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。
一、产业链
我国光刻胶产业链中,上游原材料主要包括;中游为各类型的光刻胶,主要分为PCB光刻胶、LCD光刻胶、半导体光刻胶;下游为应用领域,光刻胶主要用来制造印刷电路板、平板显示屏、半导体等。
资料来源:中商产业研究院
二、上游分析
1.原料概况
光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分构成的对光敏感的混合液体。生产光刻胶的原料包括光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体及其他助剂等。具体如下图所示:
资料来源:中商产业研究院整理
2.成本占比
生产光刻胶的原料包括光刻胶树脂、单体、光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)及其他助剂等。数据显示,树脂占光刻胶总成本的50%,在光刻胶各成分中占比最大,其次是占35%的单体和占15%的光引发剂及其他助剂。
数据来源:中商产业研究院整理
3.重点企业分析
下图为全球范围光刻胶溶剂主要生产企业汇总一览表:
下图为全球范围光刻胶单体主要生产企业汇总一览表:
下图为全球范围光刻胶树脂主要生产企业汇总一览表:
下图为全球范围光刻胶光引发剂主要生产企业汇总一览表:
三、中游分析
1.光刻胶分类
光刻胶经过几十年不断的发展和进步,应用领域不断扩大,衍生出非常多的种类,根据应用领域,光刻胶可分为半导体光刻胶、平板显示光刻胶和PCB光刻胶,其技术壁垒依次降低。相应地,PCB光刻胶是目前国产替代进度最快的,LCD光刻胶替代进度相对较快,半导体光刻胶目前国产技术较国外先进技术差距最大。具体如下图所示:
2.光刻胶产量
在国家一系列红利政策带动下,中国半导体、平板显示及PCB行业发展势头良好。作为半导体、平板显示及PCB行业制造环节中关键的材料,光刻胶的市场需求得到快速释放,尤其是LCD光刻胶产量增长。数据显示,我国光刻胶产量由2016年7万吨增至2019年11万吨。中商产业研究院预测,2021年我国光刻胶产量可达15万吨。
3.市场规模
数据显示,我国光刻胶市场规模由2016年53.2亿元增至2019年81.4亿元,年均复合增长率为15.23%。中商产业研究院预测,2021年我国光刻胶市场规模可达93.3亿元。
数据显示,2020年我国PCB光刻胶国产企业占比较大达61%,LCD光刻胶及半导体光刻胶国产企业占比较小,主要还是依赖于进口。占比分别达35%、29%。
4.竞争格局
目前,全球光刻胶生产制造主要被日本JSR、东京应化、信越化学、住友化学等制造商所垄断,尤其在高分辨率的KrF和ArF光刻胶领域,其核心技术基本由美国和日本制造商所掌握。中国本土企业在光刻胶市场的份额较低,与国外光刻胶制造商仍存在差距。数据显示,东京应化市场占比最大达27%,杜邦市场占比达17%,JSR市场占比达13%。
5.重点企业分析
下图为我国可生产光刻胶主要企业汇总一览表:
四、下游分析
1.印刷电路板
数据显示,我国印刷电路板产值由2016年271亿美元增至2019年329.4亿美元,年均复合增长率为5.0%。中商产业研究院预测,我国印刷电路板产值在2021年产值可达到370.5亿美元。
2.平板显示屏
数据显示,我国LED显示屏行业市场规模从2016年336.4亿元增至2019年的636.0亿元。中商产业研究院预测,2021年我国LED显示屏市场规模可达847.7亿元。
3.半导体材料
在国家鼓励半导体材料国产化的政策导向下,本土半导体材料厂商不断提升半导体产品技术水平和研发能力,逐渐打破了国外半导体厂商的垄断格局,推进中国半导体材料国产化进程,促进中国半导体材料行业的发展。
数据显示,2014-2019年,中国半导体材料市场规模逐年增长,从2014年的60亿美元增长至2019年的87亿美元,复合增长率为7.65%。2019年在全球半导体材料下行趋势下,中国大陆是唯一半导体材料市场规模增长的地区。预测2021年中国半导体材料市场规模将达99亿美元。
数据来源:SEMI、中商产业研究院整理
缺货涨价持续半导体景气上行再次确认 关注产业链相关投资机会
国产替代趋势下,哪些本土企业正在布局光刻胶?
产能持续紧张不仅是芯片,其上游原材料也陷入了空前紧张。
赛迪智库称,2月份日本福岛地震就曾造成信越化学光刻胶工厂暂停生产,引发新合约涨价事件。而随着多家晶圆厂纷纷扩产,光刻胶需求量大增,抢货已成为常态,尤其是KrF、ArF等高端光刻胶。
有分析称,光刻胶作为晶圆制造的核心化学工艺品,有效期较短,晶圆厂正常的库存通常不会太多,因此易受自然灾害、政治经济冲突等突发事件影响,产生缺货、涨价现象。
国内光刻胶制造企业正迎来国产替代的机会。根据野村东方国际证券2020年10月的研究报告,国内适用于12英寸硅片的ArF光刻胶基本依靠进口,自给率严重不足;同时东京应化、合成橡胶(JSR)、住友化学、信越化学为代表的国外成熟光刻胶厂商已经实现 ArF甚至EUV等高端光刻胶的量产。危机相依,高端的半导体光刻胶国产化率很低,仍需大量进口,这也为国产替代提供了巨大市场空间。
据公开资料介绍,光刻技术是借用照相技术、平板印刷技术利用光在半导体材料表面印刷出图像样式,这些图像样式便定义了芯片的功能。这项技术难度也是极高的,相当于在一根头发丝的横截面积上制造几十上百万个晶体管,由于要做的晶体管结构相当小,只有借用“无孔不入”的光来实现这一功能,这就是光刻技术。
而光刻胶是光刻过程最重要的耗材,在半导体制造中,光刻胶及其配套材料起到支撑产业链的关键作用。光刻胶及配套试剂在晶圆制造材料中合计占比约12%,为第4大晶圆制造材料,且其技术开发难度大,被誉为半导体材料皇冠上的明珠。
据公开资料,光刻胶是利用光化学反应经光刻工艺将所需要的微细图形从掩模板转移到待加工基片上的图形转移介质,由成膜剂、光敏剂、溶剂和添加剂等主要化学品成分和其他助剂组成,被广泛应用于光电信息产业的微细图形线路的加工制作,是微细加工技术的关键性材料。在光刻工艺中,光刻胶被均匀涂在硅片、玻璃和金属等不同的衬底上,经曝光、显影和蚀刻等工序将掩模板上的图形转移到薄膜上,形成与掩模板完全对应的几何图形。光刻胶按显示的效果,可分为正性光刻胶和负性光刻胶,如果显影时未曝光部分溶解于显影液,形成的图形与掩模板相反,称为负性光刻胶;如果显影时曝光部分溶解于显影液,形成的图形与掩模板相同,称为正性光刻胶。
光刻胶分为PCB光刻胶、面板光刻胶、半导体光刻胶,以及其他光刻胶。由于国内光刻胶起步晚,目前技术水平相对落后,与国外行业巨头仍存在较大差距,生产产能主要集中在PCB光刻胶、LCD 光刻胶等中低端产品,但高端光刻胶中ArF浸没式光刻胶是集成电路28nm、14nm乃至10nm以下制程的关键,而我国高端光刻胶几乎处于空白状态。
半导体用光刻胶中,光刻胶发展分别经历了G/I线光刻胶(非化学放大)、KrF光刻胶(化学放大)、ArF光刻胶(化学放大)、ArFi光刻胶(化学放大)、EUV光刻胶等品类。
目前高端光刻胶领域的大玩家主要是日美韩厂商。不过,国内光刻胶领域厂商也在积极投入ArF光刻胶的研发和量产工作。
南大光电日前发布了《向特定对象发行股票并在创业板上市募集说明书》,所募集资金拟用来量产ArF光刻胶产品。
上海新阳 (300236.SZ)“集成电路制造用高端光刻胶研发、产业化” 项目也将建设KrF及ArF干式光刻胶产能,建成后ArF干式光刻胶年产能将达到5000加仑(约合18.93吨),预计2022年实现小批量生产和销售。
晶瑞股份(300655.SZ)主要研发并量产紫外负型光刻胶、宽谱正胶、g线、i线光刻胶,并已启动 KrF、ArF 干式及浸没式光刻胶的研发。
飞凯材料在互动平台上称,公司TFT-LCD光刻胶已量产并稳定供货;半导体光刻胶处于客户验证阶段。
强力新材在年报中披露,公司的主要产品为光刻胶专用电子化学品,分为光刻胶用光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂等)和感光树脂(及配套单体)两大系列。公司的产品按照应用领域分类,主要有印制电路板(PCB)光刻胶专用电子化学品(包括光引发剂和树脂)、液晶显示器(LCD)光刻胶光引发剂、半导体光刻胶光引发剂及其他用途光引发剂四大类。
近日扬帆新材在互动平台上称,公司部分光引发剂产品下游可应用于光刻胶,但产品不直接用于光刻胶。
广信材料:尚未在中国大陆直接生产销售光刻胶
据其2020年年报披露,去年公司委托中国台湾企业廣至新材料合作开发的光刻胶项目,研发正在进行中,截至报告期末已经有部分研发成果:该项目第一批次产品已经取得研发成果,并在台湾实验室经中国台湾地区客户小试成功,产品性能及质量已满足客户的使用需求,现已进入技术转移的准备工作中。
据年报,该开发项目可应用于印刷电路板柔性基板、LCD及LED显示面板、半导体元器件等领域的高分辨率紫外光型正型光刻胶,产品可以使用水性显影液显影。紫外正型光刻胶是一类采用紫外线曝光的阳图型抗蚀剂,具有高感光度、高分辨率、抗干法蚀刻性强及良好的工艺宽容度等优点,能满足面板、集成电路的制作。
同时,该公司全资子公司湖南广裕于2020年9月28日收到长沙市生态环境局《关于湖南广裕感光新材料有限公司年产1920吨光刻胶建设项目环境影响报告表的批复》(长环评(宁高新)[2020]36号)。
不过,据其近日在互动平台披露,截至目前,公司尚未在中国大陆直接生产销售光刻胶,公司主要产品为PCB感光油墨、消费电子用UV固化涂料等光固化领域电子产品。公司光刻胶项目目前正在筹备厂房和扩充团队过程中,并计划今年进行产品试制和客户开拓。
这项业务是否会成为公司新的业绩增长点,扭转业绩亏损局面?2020年公司营收和净利润双双下滑,归母净利润亏损2.142亿。这也是其上市以来首现亏损。
容大感光:以平板显示光刻胶为主,芯片光刻胶占比较小
该公司已逐步形成了PCB感光油墨、光刻胶及配套化学品、特种油墨三大系列多种规格的电子化学产品。
在光刻胶领域,据公告显示,目前容大感光已经推出能够满足客户使用的中低端产品。
其在深交所互动易上表示,容大感光的光刻胶客户类型主要包括芯片(IC)、发光二极管(LED)、平板显示(FPD)等。目前以平板显示光刻胶为主,约占70%,芯片光刻胶占比较小,约占15%。
2020 年其净利润同比增长50.205%,其在互动平台上表示,2020年净利润同比增长主要来源于PCB光刻胶的销售增长。公司为了维持这种良性业绩,将进一步提高主要产品的市场占有率,同时增加平板显示及半导体光刻胶的市场。
其去年销售光刻胶实现的销售额是2533万元,在2020年年报中其表示,去年光刻胶、特种油墨的销售额占比还是比较小,但是,其毛利率还是比较高,公司将会在稳固PCB感光油墨市场的基础上,加大对光刻胶、特种油墨市场的开拓力度。
同时,其在2020年年报中表示,要开发出中高端的光刻胶产品,无论在技术上、资金上都会遇到考验和挑战。目前,近三年,其研发投入占营收的比例在5%左右,去年为4.64%。其公告称,预计未来公司在研发的投入力度会持续加大。
在主营产品的成本控制上,近日其在互动平台上表示,去年下半年以来,化工品涨价潮便席卷而来,进入2021年,化工产品价格更是高歌猛进,涨价声一浪高于一浪,特别是PCB光刻胶的主要原材料树脂、溶剂等产品涨速惊人,给企业的成本控制带来了巨大的压力。针对原材料的涨价,我公司及时作出反应,调整了受原材料涨价影响严重的产品销售价格,已取得了初步成效。如果原材料涨价潮继续下去,企业的业绩一定会受到影响,影响的程度取决于原材料涨价的幅度及持续时间。
南大光电:ArF光刻胶已通过下游客户使用认证 量产在望
公司主要从事先进前驱体材料、电子特气、光刻胶及配套材料三类半导体 材料产品生产、研发和销售。去年MO源产品占营收的20.21%,特气产品占营收的72.18%,其他产品占营收的7.61%。
虽然,公司光刻胶尚未贡献业绩,不过据其年报披露,2020年底,公司自主研发的ArF光刻胶产品成功通过下游客户的使用认证,成为通过产品验证的第一个国产ArF光刻胶,各项光学性能均达到商用胶的水平,可实现先进光刻胶的国产替代,产业化取得关键突破。
而ArF 光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,可以用于90nm-14nm 甚至 7nm 技术节点的集成电路制造工艺。广泛应用于高端芯片制造(如逻辑芯片、 AI 芯片、5G 芯片、大容量存储器和云计算芯片等)。
南大光电今年5月23日发布了《向特定对象发行股票并在创业板上市募集说明书》,所募集资金拟用来量产ArF光刻胶产品、扩建含氟电子特气产线。预计项目达产后,将新增年产ArF(干式及浸没式)光刻胶25吨、显影液350吨、光刻胶配套高纯试剂(对外销售)20吨及三氟化氮年产2000吨的产能。
除了光刻胶,电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”。 电子特种气体(简称电子特气)是电子气体的一个重要分支,是集成电路、平面 显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。
从业绩看,公司去年实现营收5.95亿元,同比增长85.13%,实现归母净利润8701.6万元,同比增长58.18%。公司去年获得政府补助为1.077亿元,超过了归母净利润的8701.6万元,不过计入当期损益的政府补助为2760万元,占归母净利润的31.72%沃特福德比赛分析。
其研发投入去年大增。2020年公司研发投入(含资本化部分)同比增长247.54%,占营业收入的比例为38.98%。截至去年末,公司拥有研发人员136人,占公司总人数的比例为19%左右。持续不断的研发投入、稳定的研发团队和创新文化是公司能够持续进行技术创新与产品研发的基础。
晶瑞股份:国内最早规模量产光刻胶的几家企业之一,高端KrF(248)光刻胶完成中试
公司是一家微电子材料的平台型高新技术企业,围绕泛半导体材料和新能源材料两个方向,主导产品包括光刻胶及配套材料、超净高纯试剂、锂电池材料和基础化工材料等,广泛应用于半导体、新能源、基础化工等行业,主要应用到下游电子产品生产过程的清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、浆料制备等工艺环节。
其年报称,光刻胶产品由公司的子公司苏州瑞红生产,产品主要应用于半导体及平板显示领域,产品技术水平和销售额处于国内领先地位。公司光刻胶产品达到国际中高级水准,稳定生产光刻胶近三十多年,是国内最早规模量产光刻胶的几家企业之一。苏州瑞红1993年开始光刻胶生产,承担并完成了国家02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目。公司光刻胶产品序列齐全,公司紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分g线等高端产品已规模供应市场数十年,i线光刻胶近年已向中芯国际等企业供货,高端KrF(248)光刻胶完成中试。
2020年,随着我国芯片制造行业国产替代进程加速,报告期内,公司核心产品光刻胶及配套材料的销售取得历史最好成绩,全年实现销售17912.44万元,同比增长16.98%。
公司积累了一批稳定的客户,并与下游行业的众多企业建立长期合作伙伴关系,如半导体行业的客户中芯国际、华虹宏力、长江存储、合肥长鑫等。
其宣称,公司定位为平台型材料企业,产品线相对丰富,可有效发挥产品协同效应,公司产品应用于半导体、新能源等制造领域不同工艺环节,发挥清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、浆料制备等作用,可为客户提供全面的产品和服务,提供一揽子解决方案。
从业绩看,2020年其实现营收10.22亿,同比增长35.28%,实现归母净利润7695万,同比增长145.72%,相比2019年业绩改善。2019年,其营收和归母净利润双双下滑,其中归母净利润下滑了37.64%。
不过,2020年其计入当期损益的政府补助为1121万元,占归母净利润的14.56%,非流动资产处置收益为2709.2万元,占归母净利润的35.21%。当年,其计入递延收益的政府补助为2535万元。
同时其毛利率从2014年以来呈下滑趋势,从2014年的36.30%下滑到2020年的21.74%。在2020年年报中,晶瑞股份称,公司将通过优质客户开发所形成的品牌效应,优化客户结构,将技术资源逐步向技术门槛和毛利率较高的半导体行业客户转移,降低对毛利率较低的光伏太阳能电池行业客户的销售份额。

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